本文介紹的是氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正所需設(shè)備、基本原理已經(jīng)基本步驟。
一、校正所需設(shè)備：
1、100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
2、一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子
4、可產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
5、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理：
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過(guò)255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過(guò)0.2um的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí)，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試，并比校0.3um粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在20%以?xún)?nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時(shí)間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。
